超聲波流量計

用于測量半導體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。本體采用了對強酸、強堿也有耐性的PFA樹脂。

USF500N/600N/560N系列

-G08、-G10、-G15、-G20、

-G25、-GZ08、-GZ10、-GZ15、

-GZ20、-GZ25、-GC08、-GC10

USF50ON-G08

USF50ON-G10

USF60ON-GC08

USF60ON-GC10

USF500N-G15

USF50ON-G20

USF500N-G25HK

特點

搭載DSP功能，提高穩定性、響應性、耐氣泡性。

采用2頻道實現節省空間。

用拆裝式電纜布線作業容易。

可支持高溫流體。（Max.200℃，高溫規格）

多路通信。（最多可連接31臺）

性能

流體：純水，漿料，藥液（IPA，H姶O姶，H姶SO?，H?PO?，HF，HCl，O?，NH?等）

測量流量精度（出廠校準時）：±1%of R.D.※測量流量范圍的10%以下：±0.1%of F.S。

“純水20℃（室溫25℃），流量穩定狀態下校準的瞬時流量精度”。

測量頻道數：2頻道

數據更新周期：10ms

測量方式：超聲波傳播時間差方式

輸入信號（數字輸入）：

●TTL或無電壓接點輸入

●輸入端口2系統1系統只能復位1種輸入

●從各CH的累計值復位輸入及零點調整輸入中選擇

測量輸出：DC4-20mA

●分辨率：12位（約1/4000步）：12bit（Approx.1/4000）

●精度：4mA±0.05mA、20mA±0.1mA

G08/GC08G10/GC10：～32.00L（設定步驟0.001L）

G15/G20/G25HK：～320.00L（設定步驟0.01L