超聲波流量計

用于測量半導體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。本體采用了對強酸、強堿也有耐性的PFA樹脂。

USF600S系列

USF600S-GC08

USF600S-GC10

USF600SL-GC08

USF600SL-GC10

特點

搭載DSP功能，提高穩定性、響應性、耐氣泡性

用拆裝式電纜容易進行布線作業

檢測器小型化

多通信（最多可連接31臺）

性能

流體：純水，漿液，藥液（IPA，H姶O姶，H姶SO?，H?PO?，HF，HCl，O?，NH?等）

最高流體溫度：90℃

使用環境溫度：0～80℃（檢測器）/0～50℃（轉換器）無結露

測量方式：超聲波傳播時間差方式

通信功能：可連接RS-485（Modbus-RTU）最多轉換器31臺

通信速度：960019200384057600bps

電源電壓：DC24±10%

消耗電流：通常時100mA以下（沖擊電流：約8A/0.5msec以下）