置換爐
大型置換爐
ARF-112-4
ARF-150
規格
| 型號 | ARG-13A型 |
| 樣本量 | φ50以內 |
| 熔爐數量 | 1個[φ52×500mmL] |
| 使用范圍溫度 | 室溫+100℃～1,100℃ |
| 最高溫度 | 高達1,150℃ |
| 加熱時間 | 從室溫到1,100℃約30分鐘 |
| 加熱器 | 1 區類型，Kanthal 線 |
| 氣體類型 | 氧氣、氮氣、氬氣 |
| 設備電源 | 單相AC200V12A |
*列出的溫度值是空載下的測量數據，并非保證值。
| 型號 | ARF-151-135-Ⅲ型 |
| 樣本量 | 25 個 4 英寸晶圓：1 次充電 x |
| 爐管尺寸 | 內徑φ135×1400mmL×2種 |
| 使用范圍溫度 | 室溫+100℃～1000℃ |
| 最高溫度 | 最高1200℃ |
| 浸泡區長度 | ±5℃ 中心部分350mm |
| 加熱區 | φ180 250×350×250mmL |
| 電容 | 單相AC200V 5.5Kw |
| 型號 | ARF-150型 |
| 樣本量 | 3英寸晶圓可能 |
| 熔爐數量 | [內徑φ93×1] |
| 使用范圍溫度 | 室溫+100℃～1100℃ |
| 最高溫度 | 最高1200℃ |
| 加熱時間 | 從室溫到1100℃約60分鐘 |
| 加熱器 | 3 區型，Kanthal 線 |
| 石英燃燒管 | [內徑φ93×1200L] |
| 氣體類型 | 氧氣、氮氣、氫氣、氬氣 |
*列出的溫度值是空載下的測量數據，并非保證值。
TRUSCO 中山
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