超聲波流量計

特點

用于測量半導體清洗工序中使用的超純水、高純度藥品的流量。本體采用了對強酸、強堿也有耐性的PFA樹脂。

USF500N/600N/560N系列

G08、G10、G15、G20、G25

GZ08、GZ10、GZ15、GZ20、GZ25、GC08、GC10

特點

搭載DSP功能，提高穩定性、響應性、耐氣泡性。

采用2頻道實現節省空間。

用拆裝式電纜布線作業容易。

可支持高溫流體。（Max.200℃，高溫規格）

多路通信。（最多可連接31臺）

USF500N-G08

USF500N-G10

USF600N-GC08

USF600N-GC10

USF500N-G15

USF500N-G20

USF500N-G25HK

USF600S系列

USF600S-GC08A

USF600SL-GC08A

USF600S-GC10A

USF600SL-GC10A

特點

搭載DSP功能，提高穩定性、響應性、耐氣泡性

用拆裝式電纜容易進行布線作業

檢測器小型化

多通信（最多可連接31臺）

USF500S系列

USF500SL-G08、USF500SL-G10、USF500SL-G15、

USF500SL-G20、USF500SL-G25、USF500SL-GZ08、

USF500SL-GZ10、USF500SL-GZ15、USF500SL-GZ20、USF500SL-GZ25

特點

搭載DSP功能，提高穩定性、響應性、耐氣泡性

用拆裝式電纜容易進行布線作業

可支持高溫流體（Max.200℃，高溫規格）

多通信（最多可連接31臺）

USF500S系列

規格

流體：純水，漿液，藥液（IPA，H姶O姶，H姶SO?，H?PO?，HF，HCl，O?，NH?等）

測量頻道數：1頻道

數據更新周期：10ms

使用環境溫度：0～80℃（檢測器）/0～50℃（轉換器）無結露

測量方式：超聲波傳播時間差方式

通信功能

可連接RS-485（Modbus-RTU）最多轉換器31臺